“一种在石墨球体表面包覆热解碳的设备及气相沉碳方法”获国家发明专利

发布时间 : 2020-06-01     来源 : 中国运载火箭技术研究院新闻中心

  中国运载火箭技术研究院航天材料及工艺研究所研发的“一种在石墨球体表面包覆热解碳的设备及气相沉碳方法”获国家发明专利。
  以往采用化学气相沉积技术对工件进行沉积时,工件会有某个部位与支撑起它的工装或料盘相接触,这个接触点往往因沉积不到而造成局部缺陷。
  该发明提供了一种石墨球表面包覆层的制备工艺及设备,避免了普通沉积技术的局部缺陷,可适用于不同种类石墨球的表面气相沉碳,而且提高了球体沉积后的表面质量,降低了生产成本。

  


△该发明的结构示意图

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